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MC5藍寶石晶圓激光微加工系統
藍寶石晶圓激光微加工系統主要包括：精密工作臺、數控系統、真空吸附系統、煙粉塵收集及凈化系統、激光源、軟件等主要部件組成。 		2024-07-25
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