低溫等離子凈化技術(shù)設(shè)備處理多組分異味、惡臭氣體時，等離子體中的高能離子起決定性的作用。流星雨狀的高能等離子與介質(zhì)發(fā)生非彈性碰撞，將能量轉(zhuǎn)化成基態(tài)介質(zhì)的內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)、離解、電離等一系列過程是污染介質(zhì)處于活化狀態(tài)。污染介質(zhì)在等離子體的作用下，產(chǎn)生活性自由基，活化后的污染分子經(jīng)過等離子體定向鏈化學(xué)反應(yīng)后被脫離。當(dāng)?shù)蜏氐入x子除臭設(shè)備平均能量超過污染介質(zhì)中化學(xué)鏈結(jié)合能時，分子鏈段裂，污染介質(zhì)分解，并在等離子發(fā)生器吸附場的作用下被收集。在低溫等離子體中，可能由污染介質(zhì)成分決定發(fā)生的各類化學(xué)反應(yīng)，這主要取決于等離子的平均能量、離子密度、氣體溫度、污染物介質(zhì)濃度及共存的介質(zhì)成分。

低溫等離子廢氣處理設(shè)備能有效去除揮發(fā)性有機(jī)物（VOC）、無機(jī)物、硫化氫、氨氣、硫醇類等主要污染物，以及各種惡臭味，對于長期彌漫、積累的惡臭、異味，24小時內(nèi)即可祛除，并且具有強(qiáng)力殺滅空氣中細(xì)菌、病毒等各種微生物能力，而且具有明顯的防霉作用。