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3軸機械臂_全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送

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3軸機械臂_全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送


采用AC伺服電機的3軸機械臂特點: 
超潔凈無塵間用300mm晶圓對應MCR3000C系列
適用于半導體生產設備內部,檢測設備等的晶圓搬運
全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送的需求
比MHR系列具有更好的性價比優勢
機械手臂標準臂長:160mm, 200mm
適應設備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式
配備動作監視器
控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
全軸采用絕對值編碼器規格的AC伺服電機
S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓
晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式
手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質
可以針對被搬運物體種類,設備布局等要求提供最優的手指





了解更多:http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/



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