負壓真空泵，指的就是微型真空泵。因為具備一進一出的抽氣嘴、排氣嘴各一個，并且在進口處能夠持續形成真空或負壓（相對真空），排氣嘴處形成微正壓。正是因為進口處形成負壓，所以又把微型真空泵叫做小型負壓泵。
負壓真空介紹真空負壓站內真空度下降的現象及解決方法：
1.泵內的結構間隙變大。這是由于長期的抽的氣體內含有粉塵小顆粒等，造成旋片和轉子子之間磨損后的間隙增大。解決方法：檢查間隙是否過大，更換新的轉子或旋片。關鍵是在進氣口前安裝過濾器過濾網等。
2.真空負壓站用油的型號和之前的不一樣。因為不同的油型號粘稠度，濃度都不一樣，油內的飽和蒸汽壓不一樣，所以效果是不一樣的。解決方法：根據產品的型號規格選擇正確的新真空泵油。
3.泵內的油路堵塞或者不通暢，泵腔內沒有保持一定量的真空泵油，沒有起到潤滑密封的作用。解決之道：檢查油路是否通暢，及時的清理和更換油路部件。
4.被抽氣體的溫度可能增高或者過高。解決方法：降低被抽氣體的溫度，可直接在被抽系統與進口之間加裝冷凝器。
5.由于被抽氣體中含有水蒸汽或可凝氣體導致真空負壓泵站內油乳化變色，有雜質變黑等等造成的真空度低的情況，解決方法：放掉泵內的所有真空泵油，并可反復的添加放掉泵內的真空泵油，只至真空泵油顏色正常為止。
負壓真空泵-珂勒曦螺桿真空泵，單極突破0.1pa極限真空，可長時間運行，并且針對國內高溫差、高濕度、高粉塵環境做了針對性優化，更適應國內的各類工況環境，實際應用實現更低故障率，更低能耗，更高能效。廣泛應用于電子光伏、包裝行業、真空模擬、風洞實驗和造紙與印刷等各種生產行業。