位移傳感器在工業(yè)自動(dòng)化中發(fā)揮了關(guān)鍵作用。它們能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸式測量、高精度和高分辨率的測量、快速響應(yīng)和良好的可靠性與穩(wěn)定性。隨著工業(yè)自動(dòng)化技術(shù)的不斷發(fā)展，該傳感器的應(yīng)用前景將更加廣闊。

工作原理：
位移傳感器通過改變電容來測量物體的位移。當(dāng)物體發(fā)生位移時(shí)，電容隨之改變，電容傳感器將這種變化轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，送入測量電路進(jìn)行處理。具體來說，電容傳感器由固定電極和活動(dòng)電極組成，兩個(gè)電極之間填充了介質(zhì)，形成一個(gè)電容結(jié)構(gòu)。當(dāng)物體靠近或遠(yuǎn)離電容傳感器時(shí)，活動(dòng)電極的位置也會(huì)相應(yīng)變化，從而改變電容值。

設(shè)備性能及主要參數(shù)
1、量程：±25μm 到±1000μm滿量程測量
2、分辨率：優(yōu)于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz
3、帶寬：1 kHz, 5 kHz, 20 kHz, 100 kHz 可選

位移傳感器的特性：
1、非接觸式電容式微位移測量—準(zhǔn)確的電子感應(yīng)技術(shù)，無損樣品測量。
2、優(yōu)化的近距離測量—測量距離在10微米到5毫米。
3、高準(zhǔn)確性，高靈敏性測量，精度可達(dá)0.5nm。
4、可探測任何可傳導(dǎo)性、接地的測量目標(biāo)—表面是否拋光以及材質(zhì)對測量準(zhǔn)確度無任何影響，

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