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等離子光氧一體機采用低溫等離子體分解油霧、廢氣污染介質時，等離子體中的高能離子起決定性的作用。流星雨狀的高能離子與介質內分子發生非彈性碰撞，將能量轉化成基態分子的內能，發生激發、離解、電離等一系列過程使污染介質處于活化狀態。

污染介質在等離子體的作用下，產生活性自由基，活化后的污染物分子經過等離子體定向鏈化學反應后被脫除。當離子平均能量超過污染介質中化學鏈結合能時，分子鏈斷裂，污染介質分解，并在等離子發生器吸附場的作用下被收集。在低溫等離子體中，可能發生各類型的化學反應，這主要取決于等離子的平均能量、離子密度、氣體溫度、污染物介質分子濃度及共存的介質成分。

等離子光氧一體機有足夠的能量來產生自由基，引發一系列復雜的物理、化學反應。由低溫等離子體引起的氣體有機物化學反應是在氣相中進行的電離、離解、激發、原子分子間的相互結合及加成反應。這個能量足以使大多數氣態有機物中的化學鏈發生斷裂，從而使其降解。

由于大氣受污染而酸化，導致了生態環境的破壞，重大災難頻繁的發生，給人類造成了巨大損失。因此選擇一種經濟、可行性強的處理方式勢在必行。降解揮發性有機污染物傳統的處理方式如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現，而光催化降解VCOs又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VCOs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優勢。