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三菱公司的FX系列PLC是比較具有代表性的微型PLC，除具有基本的指令表編程以外，還可以采用梯形圖編程及對應機械動作流程進行順序設計的SFC(Sequential Function Chart)順序功能圖編程，而且這些程序可以相互轉換。在FX系列PLC中設置了高速計數器擴大了PLC的應用領域。


1  FX2N系列PLC外部結構
FX2N系列PLC的硬件結構可以參考圖1-4中帶擴展模塊的PLC，圖中表示出主機如何擴展，通信接口位置等。
圖1-8為FX2N-64MR的主機外形圖。其面板部件如圖中注釋。詳細I/O端子編號見圖1-9。采用繼電器輸出，輸出側左端4個點公用一個COM端，右邊多輸出點公用一個COM端。輸出的COM比輸入端要多，主要考慮負載電源種類較多，而輸入電源的類型相對較少。對于晶體管輸出其公用端子更多，圖1-10為FX2N-16MT的輸出端子。
SIEMENS 3RT1916-1DG00 

SIEMENS 3SB1400-0A 

PHOENIX ConTACT 3036178 ST 35 

SIEMENS 3SB3400-0A 

PHOENIX ConTACT 3036178, ST 35 

SNR, 6304.ZZ, Radialkugellager 

NTN 16004, Radialkugellager 

FESTO QST-xx, push-in T-connector : 12/8mm

SNR, 6304.ZZ, Radialkugellager 

MANZ 80013414, Druckfeder D-181 

SIEMENS 3TX4001-2A  Hilfskontakt

N-5100-217  O-Ring nahtlos behandelt(1PE=2Stk.) 

MANZ 80013414, pressure spring D-181 









MANZ 80013414, pressure spring D-181 

50547, Anschlusskabel 9-pol. Sub-D Buchse (beidseitig) L=2m

N-5100-217  O-Ring seamless treated(1PU=2Pcs.) 

MANZ 80928064, 610,Zahnriemen 

N-5100-217  O-Ring seamless treated(1PU=2Pcs.) 

50547, Interface cable 9-pol. Sub-D socket (both side) L=2m

MANZ 80928064, 610,drive belt 

FESTO 34431, MSSD-F,socket 

SIEMENS 3RT1926-1BB00 

SIEMENS 3RT1926-1BB00

Finder 40.52.7.0300,Serie 40 Steck-/ Print-Leistungsrelais

SIEMENS 3RT1916-1LM00 

SIEMENS 3RT1916-1DG00 

FESTO QSL-xx, push-in L-connector

FESTO QSL-xx, push-in L-connector : 16mm

SKF 6001-2Z  deep groove ball bearing 

E-T-A 17Q000003-B, Abschlussklemme rechts 

FESTO QSL-xx, push-in L-connector : 12mm

SIEMENS 3NA3814  NH-Sicherungseinsatz, NH000

E-T-A 17Q000003-B, Abschlussklemme rechts 

SIEMENS 3NA3814 

SKF FRB 9.5/100, Festring 

Finder 41.52.9.024.0010, D10B Steck-/ Print-Leistungsrelais

Iglidur MSM1620-20,M250 Gleitlager 

PHOENIX ConTACT 0424013, AKG 35 BU

PHOENIX ConTACT 0424013, AKG 35 BU

MANZ 80012434, 1045003553, setscrew (1PU=5Pcs.)









ADVANCED ENERGY APEX5513, 0190-16198W,3156115-002 

APPLIED MATERIALS 0270-02710

TEL (TOKYO ELECTRON)1D10-309822-12, keramik DEPO 

TEL (TOKYO ELECTRON)11007002, keramik DEPO 

MKS 99B0346, elektropneumatisches Ventil

LAM RESEARCH 839-020965-007 

RIGAKU RS-P1100-3 Vacuum dryer Ultra Dry

APPLIED MATERIALS 0200-04017 

LAM RESEARCH 839-020965-007 

CELERITY TN4900 Dampfdurchflussregler  VC-4901MJR-6V

APPLIED MATERIALS 0200-04017 

APPLIED MATERIALS 0270-03972 

APPLIED MATERIALS 0200-01991

CELERITY TN4900 Dampfdurchflussregler +Durchflussbasis 

APPLIED MATERIALS 11028573, 0200-04017,ring 300mm ESC CU 

APPLIED MATERIALS 0270-02999 

APPLIED MATERIALS 0200-01991 

SCHMALZ 10.03.01.00117, EVE-TR-8-AC-F 

APPLIED MATERIALS 0190-00959 , BRG,SIN Ball,4PTCONT (1PE=2Stk.) 

APPLIED MATERIALS 0240-62543, Kit, 2.5

LAM RESEARCH 716-802033-004 

APPLIED MATERIALS 0240-62543, Kit, 2.5

LAM RESEARCH 716-802033-004 

APPLIED MATERIALS 0200-01109

TEL (TOKYO ELECTRON)30000905, Pinzette8 inch assy

AERA FC-7800CD 

LAM RESEARCH 716-801451-019, Baffle, CHBR, 2300 STRIP HIK

CELERITY DSWAK1YY10013030000  MFC N2 30slm VCR 1/4" 

AERA FC-7800CD 

LAM RESEARCH 716-801451-019, Baffle, CHBR, 2300 STRIP HIK 

LAM RESEARCH 716-040737-407B

APPLIED MATERIALS 0040-88524