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上海旦順實(shí)業(yè)有限公司

烘箱,無(wú)塵烘箱,潔凈烘箱,定制烘箱.......

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聯(lián)網(wǎng) class100烘箱 無(wú)塵室觸摸屏百級(jí)無(wú)塵烘箱

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產(chǎn)品品牌上海旦順

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聯(lián) 系  人:蔣鑫(女士)  

電子郵箱:147224984@.qq.com

聯(lián)系手機(jī):15221744475

聯(lián)系固話:400-8238860

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上海旦順

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上海

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聯(lián)網(wǎng) class100烘箱 無(wú)塵室觸摸屏百級(jí)無(wú)塵烘箱

無(wú)塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking),曝光、顯影后的堅(jiān)膜硬烘(Hard baking)等工藝,適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤,亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。

一、聯(lián)網(wǎng)無(wú)塵烘箱人性化箱體結(jié)構(gòu)

1)上下雙腔結(jié)構(gòu),節(jié)省占地面積.

2)SUS304#鏡面不銹鋼內(nèi)膽,SUS304#拉絲不銹鋼板外殼,造型大方、新穎.

3)耐高溫風(fēng)機(jī)和合理風(fēng)道構(gòu)成熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),保證室內(nèi)溫度均勻性.

4)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門(mén)(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng),

過(guò)濾效率99.99%,Class 100

二、聯(lián)網(wǎng)無(wú)塵烘箱自動(dòng)化控溫系統(tǒng)

1)采用智能控制系統(tǒng),日本優(yōu)易控  10TFT真彩觸摸薄屏 

   程式編輯:可預(yù)編120個(gè)程式,每個(gè)程式最大可編99段,共1200段

   歷史數(shù)據(jù)查詢(xún)(數(shù)據(jù)可以通過(guò)USB接口導(dǎo)出)

   可對(duì)接MES系統(tǒng)數(shù)據(jù)采集需求

2)電氣線路設(shè)計(jì)新穎,合理布線,安全可靠

3)箱體側(cè)部為電氣控制柜,方便于集中檢查維修。

三、聯(lián)網(wǎng)無(wú)塵烘箱安全完善的保護(hù)措施

1)超溫報(bào)警

2)欠相缺相保護(hù)

3)過(guò)電流保護(hù)

4)快速熔斷器

5)接地保護(hù)等系統(tǒng)。該功能充分保護(hù)實(shí)驗(yàn)人員的安全。

公司名稱(chēng):上海旦順實(shí)業(yè)有限公司

業(yè)務(wù)經(jīng)理:周高超  手機(jī)號(hào):15221841067

業(yè)務(wù)經(jīng)理:蔣鑫;  手機(jī)號(hào):15221744475

24小時(shí)服務(wù)熱線:400-823-8860

公司主頁(yè):www.done-e.com

公司主頁(yè):www.espec.com.cn

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