Hakuto 全自動(dòng)離子刻蝕機(jī) MEL 3100 技術(shù)參數(shù):
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Model |
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MEL3100 |
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Main body |
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Wafer size |
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3"～6" |
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Power |
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AC200V 3ph 40A |
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Wafer per batch |
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1 wafer |
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*two lines |
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Cassette |
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No. |
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25 wafers |
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Cooling |
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15 (l/min) |
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Q'ty |
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1pc. |
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<20℃ |
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Throughput |
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10 (wafer/hr) *1 |
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CDA |
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0.5 (MPa) |
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Pressure |
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Ultimate |
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8×10-5 (Pa) *2 |
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>10 (l/min) |
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Process |
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2×10-2 (Pa) *2 |
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N2 |
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0.2 (MPa) |
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Etching |
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Rate |
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>10 (nm/min)@SiO2 *3 |
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>40 (l/min) |
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Uniformity |
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±5%@132mm (6") *3 |
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Ar |
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0.2 (MPa) |
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Wafer surface temp. |
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<100℃ *3 |
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20 (sccm) |
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Stage rotating |
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1～20 (rpm) ±5% |
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He |
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0.2 (MPa) |
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Stage tilting |
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±90°±0.5° |
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portant;">
20 (sccm) |
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Dimension |
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Main body |
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1,600×2,175×1,900 |
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*need additional utilities |
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Co***oller |
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640×610×1,900 |
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Chiller |
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555×515×1,025 |
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Weight (kg) |
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Main body |
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1,700 |
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Co***oller |
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200 |
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Chiller |
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100 |
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*1: Estimated process time 5min |
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*2: No wafer on stege / process chamber |
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*3: Depending on process |
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Hakuto 全自動(dòng)離子刻蝕機(jī) MEL 3100 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
1. 所有流程全自動(dòng)減少人工操作, 從而保證了產(chǎn)品的無(wú)差錯(cuò)、高穩(wěn)定性和高質(zhì)量
2. 盒式房間采用高效微粒過(guò)濾器
3. 采用高質(zhì)量的蝕刻考夫曼離子源, 保證良好的均勻性和高蝕刻率
4. 占用空間小
5. 傳輸系統(tǒng)采用了 SCARA 型機(jī)器人
6. 控制單元系統(tǒng)提供操作通過(guò)觸摸屏/ 10.4英寸, 數(shù)據(jù)記錄可以顯示在屏幕上
7. 高冷卻效果
8. 良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性的旋轉(zhuǎn)和傾斜階段具有良好的可重復(fù)性利用脈沖電動(dòng)機(jī)
9. 容易維護(hù)這個(gè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)重點(diǎn)是容易維護(hù)和用戶(hù)友好
10. 關(guān)鍵部件服務(wù)伯東的經(jīng)銷(xiāo)商是系統(tǒng)中的關(guān)鍵部件渦輪泵系統(tǒng)、離子源提供客戶(hù)快速響應(yīng)時(shí)間和本地服務(wù)能力,減少停機(jī)時(shí)間的工具
該 Hakuto 全自動(dòng)離子刻蝕機(jī) MEL3100的核心構(gòu)件離子源是配伯東公司代理美國(guó)考夫曼博士創(chuàng)立的 KRI考夫曼公司的射頻離子源 RFICP 380
伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 380 技術(shù)參數(shù)：
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射頻離子源型號(hào) |
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RFICP 380 |
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Discharge 陽(yáng)極 |
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射頻 RFICP |
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離子束流 |
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>1500 mA |
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離子動(dòng)能 |
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100-1200 V |
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柵極直徑 |
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30 cm Φ |
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離子束 |
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聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
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15-50 sccm |
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通氣 |
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Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
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< 0.5m Torr |
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長(zhǎng)度 |
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39 cm |
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直徑 |
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59 cm |
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中和器 |
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LFN 2000 |
運(yùn)行結(jié)果:
1. 有效去除濺射沉積時(shí)帶來(lái)的污染物
2. 提高了薄膜磁盤(pán)的均勻度
3. 獲得具有高矯頑力、高剩磁、高穩(wěn)定性的連續(xù)薄膜型的記錄介質(zhì)
若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :
上海伯東 : 羅先生 臺(tái)灣伯東 : 王
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
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